半導体・デバイスエコ研究教育センター（CSeDE）は、我が国大学としてトップクラスの規模となるクリーンルーム及び研究に特化した半導体プロセス・デバイス化装置群を保有している。
概要
清浄度クラス1,000（1立方フィート内に含まれる直径0.5ミクロン以上の塵埃1,000以下を保証）のクリーンルームに、半導体プロセス・デバイス化に必須の成膜装置、熱処理装置、フォトグラフィー・エッチング装置及び分析装置等を装備する。
第1クリーンルーム
第1クリーンルーム クラス1,000 200㎡
第2クリーンルーム
第2クリーンルーム クラス1,000 100㎡
装置
第１クリーンルームの共用機器は「こちら」でご確認ください。
利用実績
クリーンルーム及び装置を利用して、デバイス化（IV族半導体、二次元材料の電子デバイス化）及び各種試作（パワーデバイスモジュール上のセンサー、薄膜トランジスタ、スピンMOSトランジスタ）等の様々な半導体・デバイスの試作が実施されてきており、これらの実績をもとに広範囲な半導体技術・ノウハウを蓄積・保持している。
使用件数の推移
- 2024年度 7件（2024.7月16日時点）
- 2023年度 13件
- 2022年度 12件
- 2021年度 7件
利用申し込み
利用の申し込みは「こちら」のページよりお手続きできます。